SiC功率半导体行业研究报告
作者:郭睿
半导体核心材料 / 梧桐树行业研究

SiC功率半导体行业研究报告

报告简介

       SiC是一个具有独特物理和化学特性的 IV-IV 族化合物材料,SiC 的多型体主要包括 3C-SiC、4H-SiC 和 6H-SiC,是第三代半导体的代表材料。碳化硅(SiC)单晶材料具有禁带宽度大(~Si的3倍)、热导率高(~Si的3.3 倍或 GaAs的10倍)、电子饱和迁移速率高(~Si的2.5倍)和击穿电场高(~Si的10倍或 GaAs的5倍)等性质。用 SiC 器件,不仅可以耐高温高压实现高频高效率并耐辐射,同时还可以减小系统体积和重量。当前整个 SiC 行业尚在起步阶段,全球市场及国内市场都很小,根据 Yole 统计数据,2018 年全球 SiC 市场规模为4.5亿美元。

       目前 SiC体块单晶生长技术包括改进 Lely 法、高温 CVD 法、溶液法,其中商用 SiC 单晶生长大多数均采用改进 Lely 法生长。SiC的外延生长包括同质外延和异质外延,同质外延主要指在六方多型体偏轴 SiC{0001}上化学气相沉积(CVD)同类SiC多型体;异质外延主要指在硅或六方SiC上用CVD法生长3C-SiC。SiC 生长中的核心难点在于生长中缺陷的减少与掺杂控制。SiC 晶锭及晶圆中均含有多种晶体缺陷,包括扩展缺陷和点缺陷。SiC 晶锭中的点缺陷密度是相当高的。通过近来的努力,诸如大的碳夹杂物和空隙等三位缺陷已经得到消除。SiC 应用领域包括基本的功率变换电路,电动机驱动的电力电子以及可再生能源用电力电子。基本的功率变换电路包括工频相控整流器和逆变器、开关模式直流-直流变换器和开关模式逆变器。电动机驱动的电力电子包括直流电动机驱动、感应电动机驱动、同步电动机驱动,以及混合动力和纯电动汽车的电动机驱动。可再生能源用电力电子包括光伏电源逆变器和风力机电源变换器。

       根据 Yole 统计数据,2018 年全球 SiC 市场规模为 4.5 亿美元,其中 UPS 电源市场规模为 2600 万美元,电机驱动为 3700 万美元,光伏为 1 亿美元,电动车应用为1.4亿美元。预计到2023 年,SiC 功率器件的市场空间可以达到13.99 亿美金,对应 2017-2023 年复合增速达到 29%。未来增长点来自功率因数校正电源、新能源汽车与光伏新能源。另外,SiC 功率器件壁垒包括资金壁垒、技术壁垒以及人才壁垒。SiC 衬底市场的主要供应商有美国 Cree、美国 II-VI、德国 SiCrystal(已被日本罗姆收购)、瑞典 Norstel(已被意法半导体收购)等,前三大供应商占比超过 76%。

       SiC外延片企业分为外部供应商(outsourced epi)和 IDM 内部供应商(in-house epi)两种模式,其中外部供应商主要包括美国 Dow Corning、II-VI、瑞典 Norstel(已被意法半导体收购)、日本昭和电工、新日铁住金等;IDM 内部供应企业的主要有美国 Cree、日本罗姆、三菱电机、德国 Infineon 等。在 SiC 衬底企业中,北京天科合达、山东天岳、河北同光由于市场布局时间较早,技术积累深厚,同时拥有 4 英寸与 6 英寸导电及半绝缘衬底的研发与制造能力,且均为未上市公司,因此初步判定拥有投资机会。在 SiC 外延片企业中,瀚天天成和天域半导体由于市场布局较早,技术积累深厚,同时拥有 4 英寸与 6 英寸外延片的研发与制造能力,可供单极型与双极型功率器件使用,且均为未上市公司,因此初步判定拥有投资机会。在 SiC 器件制造企业中,瑞典 Ascactron 和法国IBS 为行业内领军企业,研发创新能力强,且 Ascatron 的 3DSiC®技术还可以将功耗降低多达 30%,并具有更高的电流密度和更高的耐用性,且这两家企业均为未上市公司,初步判定具备直接并购机会。在 IDM 企业中,北京世纪金光、泰科天润以及深圳基本半导体为中国 SiC IDM 领军企业,涵盖材料制备、芯片设计、制造工艺等产业链各个环节,且均为未上市公司,因此初步判定具备投资机会。


目录概述

一、SiC 概念

二、SiC 基本性质

三、SiC 制备工艺

四、SiC 生长核心技术

五、发展史

六、SiC 应用领域

七、碳化硅和硅功率器件的性能比较

八、市场容量

九、SiC 功率器件行业壁垒

十、行业投资机会和风险



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